近日，在四川省重点产品企业标准专家评审会议上，光电所组织制定的《接近/接触式紫外光刻机》生产技术标准，顺利通过了四川省电子信息标准化技术委员会组织的专家评审。该标准是光电所首次制定并颁发实施的产品生产标准。
会上，来自四川省质监局、四川省电子产品进度检验所、电子科技大学等7个单位的专家据《企业产品标准管理规定（国质检标联[2009]84号）》的要求，对光电所制定的《接近/接触式紫外光刻机》逐一条款进行了认真审核，一致认为《接近/接触式紫外光刻机》生产技术标准符合规范要求，是目前我国在该产品领域中制定的可行标准，对促进国内该产品的生产标准化具有指导意义。
近年来，光电所研发的具有自主知识产权的URE-2000型系列单双面紫外光刻机、无掩模数字光刻机、纳米压印光刻机、投影光刻机等独具特色的微细加工光学设备已具备小批量生产能力，在国内外市场上独占鳌头。光电所在产品研发过程中，高度重视产品的设计、制造、生产、检验等规范，并逐步形成标准化，研发的产品以其突出的功能、可靠的品质、领先的技术和优势的服务，受到国内外众多用户的青睐，在微细加工技术科学领域受到广泛好评。《接近/接触式紫外光刻机》生产技术标准的颁布对光电所接近/接触式紫外光刻机研发、生产过程标准化、规范化，进一步提高产品质量、可靠性和市场竞争力将发挥重要作用。