1、新华社：“超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片
https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618453550726745773&wfr=spider&for=pc
2、中新社：中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备
http://www.chinanews.com/gn/2018/11-29/8688530.shtml
3、经济日报：我国成功研制超分辨光刻装备 光刻分辨力可达22纳米
https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618474929138757888&wfr=spider&for=pc
4、国际在线：中国超分辨光刻装备研制取得系列技术突破 拥有完全自主知识产权
https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618460660121356224&wfr=spider&for=pc
5、光明日报：国际首台分辨力最高的超分辨光刻装备研制成功
https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618468966130058032&wfr=spider&for=pc
6、中国科学报：我国新一代超分辨光刻机通过验收
http://news.sciencenet.cn/sbhtmlnews/2018/11/341400.shtm
7、科技日报：宽刀雕细活 我国造出新式光刻机