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光刻梦的灿烂 一一闻光电所研制出世界首台分辨率最高紫外超分辨光刻设备感怀并致敬

成都山地所原党委书记 关晓岗    

 

光刻世界如密殿,

四壁茫茫处处玄;

  多重曝光追"纳米“,

 独辟蹊径冲极限。

 微细天地连风云,

 牧馬山中聚杰贤;

 代代传承光刻梦,

 卧薪尝胆国为天!

                                                                                            2018.11.29